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英特爾:14nm不算什么,7nm已經在路上

發布時間:2014-09-29 文章來源:本站  瀏覽次數:20243

盡管在半導體的制程升級上的困難和阻力越來越大,Intel憑借其強大的技術實力,仍在努力推進半導體工藝的深發展,推動摩爾定律。眼下英特爾的14nm才剛剛開始登場,但是對于更高級的7nm的研究卻早已開始。Intel院士Mark Bohr表示:“我的日常工作就是研究7nm。我相信,沒有EUV也能做到!

EUV就是極紫外光刻。這十幾年來,半導體工藝雖然在不斷進步,但是核心光刻技術一直沒有實質性的突破,還是老一套,EUV就是眾望所歸的下一站,但其難度之大就連Intel也是異常吃力,結果一拖再拖,至今遙遙無期。Intel認為,EUV技術已經來不及用于10nm,甚至7nm上都很難說,盡管很多人對此抱著很大的期望。Bohr進一步解釋說:“我對EUV非常感興趣,真的能幫助工藝進步,部分時候還能將三四個遮罩縮減為一個,但不幸的是,它還沒有做好準備,產能和可靠性還不夠!盉ohr沒有透露如何在沒有EUV的情況下實現10nm、7nm,不過他指出Intel 14nm在一個或多個關鍵層上使用了新的三重曝光技術。他還表示,2015年底的時候,Intel會安排部分代工客戶體驗嘗鮮一下10nm,這也暗示新工藝產品將無法按原計劃推出,得等到2016年了。如此樂觀估計,7nm至少得2018年。



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